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새로운 연마입자를 이용한 텅스텐 슬러리 개발
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유영삼;
강영재;
김인권;
홍의관;
박진구;
정석조;
변정환;
김문성;
한양대학교 공학대학 재료화학공학부;
한양대학교 공학대학 재료화학공학부;
한양대학교 공학대학 재료화학공학부;
한양대학교 공학대학 재료화학공학부;
한양대학교 공학대학 재료화학공학부;
(한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7,
v.2006,
2006,
pp.571-572)
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Ru CMP(Chemical Mechanical Planarization)에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향
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조병권;
김인권;
권태영;
강봉균;
박진구;
박형순;
한양대학교 바이오나노공학과;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 바이오나노공학과;
한양대학교 재료화학공학부;
하이닉스 반도체;
(한국재료학회 2007년도 춘계학술발표대회 및 제12회 신소재 심포지엄,
v.2007,
2007,
pp.21.1-21.1)
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103
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Cu CMP 중 Citric Acid 기반의 Slurry 에서 부식방지제(BTA)의 영향
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유영삼;
김인권;
양희광;
강영재;
홍의관;
박진구;
한양대학교 금속재료공학과;
한양대학교 금속재료공학과;
한양대학교 금속재료공학과;
한양대학교 금속재료공학과;
한양대학교 금속재료공학과;
한양대학교 금속재료공학과;
(한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집,
v.2005,
2005,
pp.251-251)
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104
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공공데이터와 메타버스를 접목시킨 취업취약계층을 위한 스터디 및 채용정보 웹 프로그램
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김아름;
김지민;
서준희;
윤서영;
최재준;
김인권;
한양여자대학교 소프트웨어융합과;
동국대학교 컴퓨터공학과;
한양여자대학교 스마트 IT 과;
한양여자대학교 스마트 IT 과;
한양여자대학교 스마트 IT 과;
아이스큐브랩;
(한국정보처리학회 2023년도 추계학술발표대회,
v.2023,
2023,
pp.974-975)
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105
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Ru CMP에서 슬러리의 pH 적정제에 따른 영향
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김인권;
권태영;
조병권;
강봉균;
박진구;
박형순;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 바이오나노 공학과;
한양대학교 바이오나노 공학과;
한양대학교 재료화학공학부;
하이닉스 반도체;
(한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8,
v.2007,
2007,
pp.85-85)
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106
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CMP Conditioner의 오염방지를 위한 V-SAM 공정개발과 박막특성 분석
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김동찬;
김인권;
김정;
전종선;
박문석;
박진구;
한양대학교 바이오나노공학과;
한양대학교 금속재료공학과;
신한 다이아몬드 공업(주);
신한 다이아몬드 공업(주);
신한 다이아몬드 공업(주);
한양대학교 금속재료공학과;
(한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집 Vol.10,
v.2009,
2009,
pp.56-56)
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107
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콜로이달 실리카를 이용한 새로운 텅스텐 슬러리 개발
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유영삼;
강영재;
김인권;
홍의관;
박진구;
정석조;
변정환;
김문성;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 재료화학공학부;
한양대학교 재료화학공학부;
(한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집,
v.2006,
2006,
pp.18.1-18.1)
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타액선 종양 세포주에서 Brefeldin A의 아팝토시스 유도효과
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박경주;
이종헌;
김인권;
단국대학교;
단국대학교;
단국대학교 치과대학 구강병리학교실;
(대한구강악안면병리학회지,
v.30,
2006,
pp.89-96)
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CDMA 망에서의 실시간 동영상 서비스를 위한 MPEG-4 비디오 인코더
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이용희;
송준호;
김인권;
신현식;
서울대학교;
삼성전자;
바로비젼;
서울대학교;
(한국통신학회논문지B,
v.31,
2006,
pp.707-715)
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Effect of pH in Sodium Periodate based Slurry on Ru CMP
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김인권;
조병권;
박진구;
Department of Materials Engineering, Hanyang University;
Department of Bio-Nanotechnology, Hanyang University;
Department of Materials Engineering, Hanyang University;
(한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9,
v.2008,
2008,
pp.117-117)