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다이아몬드상 탄소박막의 조도에 미치는 Si Interlayer의 영향
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정재인;
양지훈;
박영희;
이경황;
포항산업과학연구원, 설비.자동화연구센터;
포항산업과학연구원, 설비.자동화연구센터;
포항산업과학연구원 울산산업기술연구소;
포항산업과학연구원 울산산업기술연구소;
(한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집,
v.2007,
2007,
pp.37-38)
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152
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Dual Arc Ion Plating법에 의한 Cr 첨가 질화탄소 박막의 특성 평가
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이경황;
박영희;
정재인;
양지훈;
포항산업과학연구원 울산산업기술연구소;
포항산업과학연구원 울산산업기술연구소;
포항산업과학연구원 설비.자동화연구센터;
포항산업과학연구원 설비.자동화연구센터;
(한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집,
v.2008,
2008,
pp.332-332)
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153
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할로방전 스퍼터링 소스의 특성
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정재인;
양지훈;
김성환;
변인섭;
포항산업과학연구원 소재이용연구그룹;
포항산업과학연구원 소재이용연구그룹;
포항산업과학연구원 소재이용연구그룹;
포항산업과학연구원 소재이용연구그룹;
(한국표면공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집,
v.2017,
2017,
pp.92.2-92.2)
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154
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경사 코팅법으로 제조된 TiN 다층 박막의 특성
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정재훈;
양지훈;
박혜선;
정재인;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
(한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵,
v.2011,
2011,
pp.125-125)
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155
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빗각 증착법(Oblique Angle Deposition)으로 코팅된 금속 및 화합물 박막의 특성
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양지훈;
박혜선;
정재훈;
송민아;
정재인;
포항산업과학연구원, 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원, 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원, 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원, 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원, 융합소재연구본부;
(한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집,
v.2012,
2012,
pp.151-151)
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156
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YSZ/Si(111)위에 성장된 <tex> $CeO_2$</tex> 박막의 특성 분석
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양지훈;
문병식;
박종윤;
성균관대학교 물리학과;
성균관대학교 물리학과;
성균관대학교 물리학과;
(한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집,
v.2000,
2000,
pp.70-70)
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157
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이온빔 증착에 의한 DLC 박막의 제조 및 특성
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정재인;
양지훈;
박영희;
이경황;
전웅;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
(한국진공학회 2007년도 제32회 학술대회 초록집,
v.2007,
2007,
pp.142-142)
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158
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음극 아크 증착으로 형성된 AlTiN 코팅막의 특성 평가
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김성환;
양지훈;
송민아;
정재훈;
정재인;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
(한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집,
v.2016,
2016,
pp.298.2-298.2)
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159
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증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성
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정재인;
양지훈;
박혜선;
정재훈;
송민아;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
포항산업과학연구원 융합소재연구본부;
(한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집,
v.2012,
2012,
pp.55-55)
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160
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스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 형상 및 특성 연구
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송민아;
양지훈;
정재훈;
김성환;
정재인;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
포항산업과학연구원;
(한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집,
v.2016,
2016,
pp.165.2-165.2)