검색어 : 통합검색[유석재]
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- DC 글로우 방전에서 <tex> $H_{ alpha}/H_{ beta}$</tex> 비를 이용한 전자온도와 밀도의 계산 및 측정
- 김용모; 한전건; 유석재; 윤정식; 오수기; 성균관대학교 CAPST; 성균관대학교 CAPST; 한국기초과학지원연구원; 한국기초과학지원연구원; 아주대학교 물리학과; (한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집, v.2004, 2004, pp.85-85)
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- 중성입자빔과 ICP 플라즈마로 성장시킨 SiON 박막의 특성 연구
- 김종식; 김대철; 이봉주; 유석재; 이성은; 박영춘; 국가핵융합연구소 융복합플라즈마연구센터; 국가핵융합연구소 융복합플라즈마연구센터; 국가핵융합연구소 융복합플라즈마연구센터; 국가핵융합연구소 융복합플라즈마연구센터; 한동대학교 정보통신공학과; 한동대학교 정보통신공학과; (한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집, v.2011, 2011, pp.237-237)
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- 플라즈마를 이용한 SiC 합성원리 및 특성분석
- 유인근; 유석재; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; (한국진공학회 2013년도 제 45회 하계 정기학술대회 초록집, v.2013, 2013, pp.169.1-169.1)
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- 3차원 입자 시뮬레이션을 이용한 직각 자석 구조의 마그네트론 스퍼터 장비 모델링 및 타겟 침식률 계산
- 장현우; 김성봉; 박장식; 오지영; 이승길; 유석재; 유창모; 포스텍 물리학과; 국가핵융합연구소; 아바코; 아바코; LG 디스플레이; 국가핵융합연구소; 포스텍 물리학과; (한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집, v.2011, 2011, pp.278-278)
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- ENI 스퍼터를 이용한 Cu Seed Layer 증착
- 이봉주; 임선택; 박영춘; 유석재; 국가핵융합연구소, 플라즈마응용연구팀; 한동대학교, 정보통신공학과; 한동대학교, 정보통신공학과; 국가핵융합연구소, 플라즈마응용연구팀; (한국표면공학회 2008년도 추계학술대회 초록집, v.2008, 2008, pp.3-4)
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- 내부 삽입 직선 안테나를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상 및 불순물 발생 특성 연구
- 김대철; 김종식; 이봉주; 유석재; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; (한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집, v.2009, 2009, pp.386-386)
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- Hyperthermal 중성빔을 이용한 HIT cell용 Si 박막 형성 및 계면특성
- 오경숙; 최성웅; 김대철; 김종식; 김영우; 유석재; 홍문표; 박영춘; 이봉주; 국가핵융합연구소; 한동대학교; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 한동대학교; 고려대학교; (한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집, v.2008, 2008, pp.394-396)
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- KSTAR 장치 개발 현황
- 오영국; 박주식; 최창호; 권면; 유석재; 이경수; 홍봉근; 오병훈; 조무현; 남궁원; 핵융합연구센터; 핵융합연구센터; 핵융합연구센터; 핵융합연구센터; 핵융합연구센터; 핵융합연구센터; 한국원자력연구소; 한국원자력연구소; 포항공대; 포항공대; (한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집, v.2006, 2006, pp.223-223)
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- 대기압 플라즈마를 이용한 폴리머 합성과 그 응용
- 유인근; 유승민; 김성봉; 유석재; 국가핵융합연구소 혁신기술연구부; 국가핵융합연구소 혁신기술연구부; 국가핵융합연구소 혁신기술연구부; 국가핵융합연구소 혁신기술연구부; (한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집, v.2015, 2015, pp.346-346)
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- Hyper-thermal Neutral Beam을 이용한 저온 SiO<tex> $_2$</tex> 박막 형성
- 손혁준; 김종식; 김대철; 유석재; 박영춘; 이봉주; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 국가핵융합연구소; 한동대학교 정보통신공학과; 국가핵융합연구소; (한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집, v.2008, 2008, pp.300-300)
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