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1
-
솔더범프와 TiW/Cu/electroplating Cu UBM 층과의 금속간 화합물 형성과 범프 전단력에 관한 연구
-
장의구;
김남훈;
김남규;
엄준철;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
(전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers,
v.17,
2004,
pp.267-271)
-
2.
- 次世代 DRAM 應用을 위한 PST 薄膜 特性 硏究
- 엄준철
-
中央大學校, 국내박사,
7, 104장, 2004
-
3
-
FSG Capping 레이어들에서의 플루오르 침투 특성
-
이도원;
김남훈;
김상용;
엄준철;
장의구;
중앙대학교;
중앙대학교;
동부아남반도체;
서울정수기능대학;
중앙대학교;
(한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스,
v.2004,
2004,
pp.26-29)
-
4.
- 맨체스터 복호기의 設計 및 解析
- 엄준철
-
충남대학교, 국내석사,
52 p., 1995
-
5
-
부식 방지제와 Complexing Agent 첨가에 따른 Cu CMP 특성
-
김인표;
김남훈;
김상용;
이철인;
엄준철;
장의구;
중앙대학교;
중앙대학교;
동부아남반도체;
안산공대;
중앙대학교;
중앙대학교;
(한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1,
v.2003,
2003,
pp.343-346)
-
6
-
<tex> $Ar/CF_{4}/Cl_{2}$</tex> 플라즈마에 의한 <tex> $CeO_2$</tex> 박막의 식각 특성 연구
-
장윤성;
장의구;
김창일;
이철인;
김태형;
엄준철;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
안산공대 전기과;
여주대 전기과;
정수기능대;
(한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1,
v.2001,
2001,
pp.217-220)
-
7
-
Ar/CF<tex> $_4$</tex>/Cl<tex> $_2$</tex> 플라즈마에 의한 CeO<tex> $_2$</tex> 박막의 식각 특성 연구
-
장윤성;
장의구;
김창일;
이철인;
김태형;
엄준철;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
안산공대 전기과;
여주대 전기과;
정수기능대;
(한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회논문집,
v.2001,
2001,
pp.217-220)
-
8
-
준 무연마제 슬러리를 아용한 Cu CMP 연구
-
김남훈;
임종흔;
엄준철;
김상용;
김창일;
장의구;
중앙대학교;
동진쎄미캠;
중앙대학교;
동부아남반도체;
중앙대학교;
중앙대학교;
(한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹,
v.2003,
2003,
pp.158-161)
-
9
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강유전체 <tex> $YMno_{3}$</tex> 박막의 건식식각 특성연구
-
김인표;
박재화;
김경태;
김창일;
장의구;
엄준철;
중앙대학교;
중앙대학교;
중앙대학교;
중앙대학교;
중앙대학교;
서울정수기능대학;
(한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15,
v.2002,
2002,
pp.159-162)
-
10
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고밀도 유도결합 <tex> $C1_2CF_4Ar$</tex> 플라즈마를 이용한 <tex> $CeO_2$</tex> 박막 식각후 표면반응에 관한 연구
-
장윤성;
김남훈;
김경섭;
이병기;
엄준철;
김태형;
장의구;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
여주대학 전자학과;
중앙대학교 전자전기공학부;
중앙대학교 전자전기공학부;
여주대학 전기학과;
중앙대학교 전자전기공학부;
(한국마이크로전자및패키징학회 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집,
v.2002,
2002,
pp.255-258)